Номинальное значение удаления: ≥0,0025 мкм Удержание: более 99,9999999% удаление всех частиц до 0,0025 мкм Номинальный поток: 60,120, 200 ст. л./мин Макс. рабочее давление: 12 МПа при 20°C Макс. рабочая температура: 450°C Чистота поверхности внутренней стороны: ≤ Ra 5 микродюймов Величина утечки гелия: 1×10-10 Па·м3 /с
